01 Підвищення точності травлення
Високопродуктивний фемтосекундний лазер може контролювати точність травлення до порядку величини нм, що на 1-2 порядків вище, ніж у пікосекунд; точність ширини кромки контролюється в порядку величини um або sub-um;
02 Зменшення матеріальних збитків
Пікова потужність фемтосекундного лазера висока, поглинання сильне, а його зона термічного впливу на травлення та глибина плавлення менші порівняно з пікосекундним лазером, тому він менше впливає на травлення нижнього шару та може значно зменшити матеріальний збиток або навіть не відчути збитків
03 Уникнення пошкодження основного матеріалу
Використання УФ-пікосекундного/фемтосекундного лазерного травлення шарів прозорої плівки може уникнути пошкодження основного матеріалу;
04 Ефективне виконання вимог процесу
Завдяки взаємодії різних лазерів ми можемо ефективно задовольнити технологічні вимоги акумуляторів BC для виробництва складних візерунків різних шарів плівки.
Для акумуляторного процесу використання фемтосекундних лазерів може зменшити матеріальний збиток і спростити процес очищення, тим самим реалізуючи зниження витрат і ефективність. Високоефективні фемтосекундні лазери можуть краще забезпечити ефективне масове виробництво клітин XBC, зберігаючи швидкість обробки не менше ніж пікосекунди, що призводить до ефективності до 26-27%.
