1｜Обговорення глинозему та його застосування Кераміка з глинозему завдяки своїй ізоляції, стійкості до високих-температур, зносостійкості, стійкості до корозії та високій хімічній стабільності широко використовується в таких галузях, як напівпровідники, нова енергетика та високо-електроніка. Зокрема, глиноземна кераміка може добре адаптуватися до екстремальних умов, таких як вакуум і високі температури, що робить її придатною як сировину для технологічних компонентів напівпровідникового обладнання. Наявності лише чудових матеріалів далеко недостатньо; ці матеріали також вимагають чудових технологій обробки-в високоякісному обладнанні або процесах, щоб повністю реалізувати свої властивості та досягти більших проривів у точному виробництві. Наприклад, газові форсунки, які використовуються в напівпровідниковому обладнанні, потребують високої стійкості до корозії, як правило, досягається за допомогою керамічних матеріалів із оксиду алюмінію. Щоб насадка могла досягти оптимального контролю, необхідна точна технологія обробки мікро-отворів, щоб створити хорошу структуру мікро-отворів, що забезпечує точний контроль швидкості та об’єму потоку газу/рідини. Таким чином, взаємозв’язок між глиноземом і хорошими методами обробки є взаємопідсилювальним.
2｜Обговорення обробки мікропор оксиду алюмінію Обробка кераміки завжди була проблемою. По-перше, це твердий і крихкий матеріал; використання традиційних механічних методів свердління легко спричиняє мікро-тріщини та відколи, що ускладнює забезпечення продуктивності. По-друге, це ізоляційний матеріал і не-провідний, тому високоточну-електророзрядну обробку використовувати неможливо. До появи фемтосекундних лазерів досягти високої-точності та високої{8}}якісної обробки керамічних мікропор із оксиду алюмінію було складним завданням. Тим не менш, як можна оцінити високу точність і високу якість? Іншими словами, як оцінити показники обробки мікропор хороші чи погані? Я вважаю, що є два аспекти: розмір мікропор і морфологія мікропор.
1. Розмір мікропори включає: діаметр отвору та його точність, округлість, конусність тощо. Ці три показники в основному відображають три{2}}вимірний розмір мікропори, тоді як точність являє собою відхилення між ідеальним значенням і фактичним значенням, досягнутим за допомогою технології обробки.
2. Морфологія мікропор включає: морфологію поверхні та морфологію бічних стінок. Ці два індикатори в основному перевіряють, чи є вхідний отвір і внутрішня стінка пере-шару розплаву, сколів, бризок, тріщин або гладкості поверхні. Ці показники впливають на проникнення світлових променів, газів і рідин, а також впливають на надійність і термін служби виробу.
3｜Обговорення фемтосекундної лазерної обробки глинозему Фемтосекундний лазер, як передова-технологія обробки мікроотворів, демонструє значні переваги в обробці глинозему. Завдяки ультра-широті імпульсу та надзвичайно високій піковій потужності він може аблювати будь-який твердий матеріал, не проходячи через розплавлений стан. У поєднанні з мікрометричним -масштабом тонкого гравіювання мікроотвори дуже точні та чудової округлості. Крім того, холодна обробка фемтосекундних лазерів запобігає утворенню перелитих шарів, мікротріщин на поверхні або внутрішніх стінках оксиду алюмінію, не викликає пожовтіння або почорніння матеріалу. Іншими словами, незалежно від методу обробки чи композиційного співвідношення глиноземної кераміки, фемтосекундні лазери можуть досягти над-високої точності,-якісної обробки мікроотворів. В даний час фемтосекундні лазери можуть досягати обробки мікроотворів з мінімальним діаметром 0,02 мм (товщина 0,2 мм) і точністю в межах ±1 мкм. Чи знаєте ви про якісь інші технології, які можуть досягти такої обробки мікроотворів?
