Лазерна система очищення для очищення інструменту PVD, може ефективно видаляти багатошарове покриття, не матиме механічних пошкоджень, не пошкоджує зварювальну або ущільнювальну поверхню, зменшує час циклу нагрівання, відсутні екологічні та хімічні реагенти, відсутні вторинні забруднювачі. очищення камери може бути завершено всього за кілька годин.
Технологія лазерного очищення може навіть видалити найбільш важкі для очищення відкладення парової фази, включаючи алмазоподібні вуглецеві покриття та інші зносостійкі покриття. Потужність пакетних лазерів випаровує ці "куленепробивні покриття". Зрештою, точні металеві підкладки можуть бути очищені безпечно і без пошкоджень, і ніяких залишків не виробляється. Плазмову камеру можна вручну або напівавтоматично піддавати ефективному лазерному зняттю покриття під час очищення.
PVD фізичне осадження з парової фази відноситься до процесу перенесення речовини або молекули з джерела на поверхню підкладки фізичним процесом. Його функція полягає в тому, щоб деякі частинки зі спеціальними властивостями (висока міцність, зносостійкість, тепловиділення, стійкість до корозії тощо) розбризкуються на нижню частину тіла продуктивності, так що тіло матері має кращу продуктивність. У цьому процесі, однак, розпилений шар лаку не тільки прилипає до поверхні мішені, але також інтегрується з поверхнями інструментів і пристосувань, які використовуються для утримання деталей в реакційній камері. Система лазерної очищення може ефективно очищати поверхню інструменту PVD, уникаючи несприятливого впливу надмірних матеріалів покриття PVD, таких як зменшення допуску заготовки, погану герметичність реакційної камери, що призводить до збільшення вологості і тривалого часу нагрівання.
