Як ми всі знаємо, у світі є лише один виробник, який може виробляти EUV-літографіюНідерланди ASML.
Причина, чому у світі існує лише один виробник, полягає в тому, що ASML об’єднала багато ключових виробників, таких як Zeiss (Zeiss), німецька оптична компанія, Cymer (США) іTRUMPF (Німеччина).
ASML прив’язав цих виробників до своєї колісниці через інвестиції, придбання, акціонування, заснування дослідницьких центрів тощо, і ці виробники, мабуть, єдині виробники у світі, які можуть виробляти цю продукцію, тому, зрештою, лише ASML у світі може виготовляти EUV літографію.
Однак нещодавно ключовий ланцюжок постачання ASML побіг у Шеньчжень, Китай, щоб побудувати фабрику, її дочірнє підприємство в Шеньчжені оселилося в китайсько-німецькому (Європа) промисловому демонстраційному парку Баоань.
Цим виробником є німецька TRUMPF Group (TRUMPF), це EUV літографія ASML, єдиний у світі постачальник лазерного джерела.
Наскільки важливі продукти TRUMPF у EUV-літографії? Спочатку послухайте, як я поясню принцип EUV-літографії, ви зрозумієте.
Принцип EUV-літографії, простіше кажучи, зосереджений на трьох основних системах: система джерела ультрафіолетового світла EUV, система об’єктивного дзеркала та система столу.
Специфічний процес полягає у використанні лазера для збудження екстремального ультрафіолетового світла з довжиною хвилі 13,5 нм, яке потім коригується, щоб утворити контрольований промінь світла, який потім проектується на столик фотомаски, а потім проектується через об’єктивне дзеркало на стіл експонування. і, нарешті, вигравірувано в схему на кремнієвій пластині, покритій фоторезистом.
Як отримують одну з систем джерел УФ-світла EUV шляхом бомбардування краплі металу олова (Sn) СО2-лазером потужністю 30 кВт, випаровування його в плазму та отримання УФ-світла з довжиною хвилі 13,5 нм.
Цей CO2-лазер потужністю 30 кВт поставляється компанією TRUMPF, єдиною в світі.
Не варто недооцінювати цей CO2-лазер, він складається з 457 329 частин, довжина кабелю в системі становить до 7322 метрів, а вага становить 17 090 кг, що є одним із найважливіших основних компонентів EUV-літографії.
Тепер TRUMPF побіг до Китаю, щоб побудувати фабрику, намір зрозумілий, тобто оптимістичний щодо китайського лазерного ринку, і ще більш довгостроковий погляд, оптимістичний щодо китайського ринку літографії, майбутнє може співпрацювати з Китаєм для створення EUV літографії .
Насправді вже існує більше одного ланцюга поставок ASML, який прямує до Китаю для будівництва заводу, є KMWE та інші виробники, також до Китаю для будівництва заводу.
Згідно з поточною тенденцією, ми можемо з оптимізмом очікувати, що невдовзі китайська технологія літографії стане великим кроком вперед, і навіть обсяг випуску EUV-літографії також можна очікувати, як ви думаєте?
