1. Лазерне очищення компонентів інтегральних схем Пакет IC часто упакований в пакет IC.
Як інтеграція IC збільшується, все більше і більше контактів доступні, і отвори стають все менше. Традиційний метод важко видалити з режиму спалаху. Ексімерна лазерна зачистка може повністю виключити режим спалаху невеликого отвору. Використання лазерної сцинтиляції має безпрецедентні переваги перед іншими методами. Очевидно, лазерний спалах буде найбільш підходящою технологією перекриття IC. Лазерна сцинтиляція зазвичай використовує експресорний лазер KrF. Довжина хвилі становить 248 нм, а довжина імпульсу - 20 нс. Фокусуючись плано-опуклою лінзою діаметром 50 нм і фокусною відстанню 50 мм, лазерний промінь падає перпендикулярно в повітря.
2. Комплексна ланцюгова лазерна демаркація При виробництві інтегральних схем якість маркування упаковки часто відбувається погано або виникають помилки. Інші користувачі тимчасово змінюють дизайн і потребують очищення існуючих міток перед повторним маркуванням.
Звичайні способи очищення мають низьку швидкість, погану автоматизацію і шорстку поверхню після обробки, що обмежує їх застосування в інтегральних схемах. Ексимерний лазер має високу ефективність при відхиленні позначки, а якість відмітки хороша. Лазерна декубекація повинна належним чином контролювати глибину зачистки. Занадто глибоко впливає IC мікросхема і знижує здатність протистояти вологому нападу. Занадто дрібно, позначку не можна повністю видалити. Економія часу з більш високою щільністю енергії і більш високою частотою повторення. Коли лазер відступає, пил, жир і оксиди на поверхні також видаляються, щоб виявити чисту форму. Після повторного маркування міцність краще.
3. Очищення великих астрономічних телескопів
Завдяки використанню великих телескопів на відкритому повітрі, дзеркальна поверхня часто забруднена частинками, що призводить до зменшення дзеркальної відбиття, що призводить до загострення підкладки зображення, що є великою проблемою, що виникає в астрономічних спостереженнях. Великі дзеркала важко чистити за допомогою традиційних методів. Хороші результати були отримані при очищенні ексимерного лазера KrF. Поріг щільності енергії, при якому лазерний промінь не здатний виробляти пошкодження дзеркала, збільшується з ростом довжини хвилі. Починаючи від уникнення пошкодження дзеркала, безпечніше вибрати чищення довшої хвилі. Одночасно з очищенням лазера необхідно вдувати допоміжний газ або насос, щоб вчасно видувати або відсмоктувати частинки, що падають з зони опромінення, щоб запобігти вторинному забрудненню.
4. Очищення магнітної головки слайдера повітряного підшипника
При виробництві комп'ютерних дискових накопичувачів, щоб збільшити щільність зберігання, висота польоту магнітної головки безперервно зменшується приблизно на 0,1 мкм, а субмікронні частинки можуть пошкодити ковзний сидіння і поверхню диска, в результаті чого система приводу не працює . Таким чином, очищення ковзання повітряного підшипника є незамінним процесом у виробничому процесі, і звичайний ефект ультразвукового очищення дуже поганий. Нове дослідження доводить, що лазерне очищення є дуже ефективним методом очищення магнітної головки повзунка повітряного підшипника. Повітряний підшипник магнітної головки виконаний з оксиду алюмінію і карбіду титану. Під час процесу виготовлення поверхня магнітного підшипника зазвичай приклеюється до частинок діоксиду цирконію, і вільні частинки спочатку продуваються сильним потоком повітря, а потім проводиться лазерне очищення. Кількість частинок, що прилипають до поверхні, досліджували за допомогою оптичної мікроскопії до і після очищення.
5. Лазерне очищення творів мистецтва
Лазерне очищення стародавніх мистецьких скарбів є досить складною технікою. В даний час технологія лазерного очищення використовується в основному для очищення культурних реліквій і великих будівель, а хімічне очищення може пошкодити її поверхню і зашкодити навколишньому середовищу.
В останні роки використання лазерної технології очищення було успішним у очищенні всесвітньо відомої старовинної архітектури Кельнського собору. Після лазерного очищення колекції різьби по каменю був отриманий такий самий ефект. Поверхня каменю після лазерного очищення спостерігалася за допомогою електронного мікроскопа. Було встановлено, що структура каменю після лазерного очищення не змінювалася, а поверхня, що підлягає очищенню, була гладкою і рівною без пошкоджень. Використання ексимерних лазерів для очищення китайських стародавніх мідних монет і металевих компасів. Розмір частинок поверхневих забруднень може бути очищений від такої маленької молекулярної групи до 80 мкм, а тонка структура і колір поверхні об'єкта залишаються неушкодженими без пошкодження.
