Нещодавно Шанхайський інститут мікросистеми та інформаційних технологій китайської академії наук розробив високоефективне дзеркало MEMS, що відбивається з інтегрованим кутовим датчиком . Дзеркало має великий розмір, невеликий обсяг пакету, відмінна продуктивність та великий потенціал у лазерних супутникових комунікаціях .
Дзеркало, що швидко відбивалося, знадобилося майже п’ять років, щоб розробити ., воно приймає подвійну неоднорідну інтеграцію та технологію скріплення на рівні вафель, і його обсяг-лише розмір 1- Юань монети .}}
Він долає технічні вузькі місця традиційних механічних дзеркал, що швидко відбиваються, та оригінальних дзеркал, що швидко відбиваються MEMS
Натхненний екраном мобільного телефону, команда використовувала кремній п'єзорезистивний принцип штаму для інтеграції датчиків кута мікросхем, і завдяки структурним інноваціям чутливість збільшувалася на 63%, оптимізуючи точність управління променями .}
Результати випробувань показують, що на певній частоті точність кута відповідає стандарту, а максимальна динамічна деформація поверхні становить лише 2 нанометри .
Чиновник зробив аналогію, яка еквівалентна всім підйомам і падінам на дзеркалі розміром футбольного поля, що не перевищує діаметром волосся, відповідаючи суворим вимогам супутникового лазерного зв'язку на далекі відстані на дзеркальній поверхні .
